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紫外线中波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线,被广泛用于净水厂、医院、工厂无尘车间的空气杀菌、处理甲醛等领域。过去,很多深紫外线光源采用水银灯,但联合国去年组织各方签订的《水俣公约》规定要大幅限制水银的使用,所以有必要开发替代光源。
深紫外线LED就可以用来替代水银灯,但是过去制作深紫外线LED时要用昂贵的蓝宝石做基板,其高昂成本限制了普及程度。立命馆大学高级研究员青柳克信等人报告说,可以利用廉价的硅酮取代蓝宝石作为基板,从而能大幅削减成本。
此外,过去的工艺中为了让电流通过,需要剥离基板上的一部分绝缘层。而新方法是在硅酮基板上附着一层氮化铝作为绝缘体,然后在上面开出多个微孔让电流通过。这样做无需剥离绝缘层,大幅缩短了工序,以前需要5天的制作工作可以缩短到1天,而且避免了剥离绝缘层时对LED的损伤,发光效率也得到提高。
研究小组认为,新方法可大幅削减深紫外线LED的制造成本,有望促进这种深紫外线光源的大规模生产和广泛应用。